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商品の説明

"span"■特徴
●EXTおよびnEXTターボ分子ポンプは、複合ドラッグステージと一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受けポンプで、42~400L/s の排気速度で提供されています。
●いずれも永久磁石製上部軸受けが特長でハイドロカーボンのない、高/超高真空を実現し、信頼性の高い高速運転を可能にします。
●オンボード コントローラは当社のTICおよびTAG コントローラに直接接続できるため、低コストのシステム統合を実現しています。
●nEXTモデルでは、ユーザーが交換可能な軸受けカートリッジによってユーザー保守性を提供し、所有コストを低減しています。
■仕様
●排気速度:400L/s(N2)
●圧縮比:gt;1011
●到達圧力:●インレットフランジ:ISO100
●消費電力: 80W

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